AR-P 1200 – AR-N 2200

Die Resists der Serie AR-P 1210-1230 sind empfindliche, positiv arbeitende Sprühlacke für drei übliche Applikationen mit hoher Oberflächengüte. Sie werden einsatzfertig angeboten und sind auf allen kommerziellen Spraycoatern einsetzbar. Ihr Pendant bei ansonsten analogen Eigenschaften sind die negativ arbeitenden Sprühresists der Serie AR-N 2210-2230. Beide Resistserien enthalten unterschiedlich konzipierte Lösemittelzusammensetzungen für ein definiertes Trocknungsverhalten entsprechend Anwendungszweck und werden für 3 gängige Einsatzgebiete angeboten:

– AR-P 1210, AR-N 2210 für gleichmäßige Bedeckung senkrechter Gräben
– AR-P 1220, AR-N 2220 für geätzte 54 ° Böschungen
– AR-P 1230, AR-N 2230 für planare Wafer.

Im Gegensatz zu den Sprühresists für extreme Topologien (AZ 4999) bilden die Neuentwicklungen AR-P 1210 und AR-N 2210 eine glatte Oberfläche aus, d.h. sind weniger rau. Infolge der speziellen Lösemittelzusammensetzung verdunsten sie langsamer, dennoch ist eine vollständige und ausreichende Bedeckung des Substrates gegeben. Die Resists enthalten Lösemittelgemische mit den Hauptkomponenten Methylethylketon und 1-Methoxy-2- propyl-acetat (Safer solvent).

Ausführliche Produktinformation zum Download
» AR-P 1200, AR-N 2200

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