AR-PC 5090 und AR-PC 5091 (Electra 92)

Die Protective Coatings AR-PC 5090 und AR-PC 5091 (Electra 92) sind leitfähige Schutzlacke. Ihre Funktion besteht in der Erzeugung dünner, leitfähiger Schichten. Der AR-PC 5090 ist für den Einsatz auf PMMA-E-Beam-, CSAR 62– und HSQ-Resists konzipiert und der AR-PC 5091 kann bei Novolak-basierten E-Beamresists eingesetzt werden. Beide dienen hauptsächlich zur Ableitung der bei der Elektronenbestrahlung entstehenden Aufladung.
Die Resists werden durch Schleuderbeschichtung aufgetragen. In Abhängigkeit von der Schleuderdrehzahl resultiert eine Schichtdicke von 30 – 80 nm. Die Schicht wird nach dem Bestrahlen rückstandsfrei mit DI-Wasser entfernt. Die Haltbarkeit der Lösungen beträgt mehr als ein Jahr.
Der Resist besteht aus einem Polyanilin, Tensiden und einem Gemisch aus Wasser/Alkohol.

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