Entwickler AR 300-40

Entwickler AR 300-40 (metallionenfrei).
Die Entwicklerserie AR 300-40 umfasst metallionenfreie Entwickler in verschiedenen Konzentrationen, die speziell den hohen Anforderungen der mikrolithographischen Prozesse in der Halbleiterindustrie gerecht werden. Die Verwendung dieser Entwickler vermindert die Möglichkeit einer Metallionenkontamination an der Substratoberfläche. Sie weisen ausgezeichnete Benetzungseigenschaften auf und arbeiten als wässrigbasische Lösungen rückstandsfrei. Die einzelnen Entwickler sind vorzugsweise den verschiedenen AR-Resistsystemen AR-P 1000-5000 und 7000 angepasst. Neben der titrimetrischen Einstellung wird eine gleichbleibende Entwicklerqualität mit der sensitometrischen Kontrolle gewährleistet.

Ausführliche Produktinformation zum Download
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