Haftvermittler AR 300-80 und HMDS

Haftvermittler für Resists AR 300-80 und HMDS.
Sowohl der AR 300-80 als auch HMDS dienen als Haftvermittler zur Verbesserung der Haftfestigkeit von Photo- und E-Beam Resists. Beim AR 300-80 wird das verbesserte Beschichtungsverhalten der Resists durch Diphenylsilandiol erreicht, das in einer Konzentration < 3 % in einem safer-solvent-Gemisch gelöst ist. HMDS besteht dagegen aus der Einzelkomponente Hexamethyldisilazan und wird direkt durch Verdampfen in geeigneten Gefäßen auf die Substratoberfläche gebracht. Der AR 300-80 stellt eine gute, einfache und preiswerte Alternative zum HMDS dar. Speziell bei Oberflächen, die für ihre schlechten Hafteigenschaften bekannt sind (Metalle, SiO2, GaAs u.a.), zeigt er in den meisten Fällen bessere haftvermittelnde Eigenschaften als das HMDS.

Ausführliche Produktinformation zum Download
» AR 300-80

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