Remover AR 600-70, 600-71, 300-76, -70, -72, -73

Remover AR 600-70, 600-71 und AR 300-76, -70, -72, -73 zur Entfernung von Resistschichten.
Die Remover AR 600-70 und AR 300-76, -70, 300-72, 300-73 sind farblose, klare Lösungen, die zur Entfernung von Resistschichten auf der Basis von Methylmethacrylat /Methacrylsäure (E-Beam Resists) sowie Novolak /Naphthochinondiazid (Photoresists) eingesetzt werden. Alle vier Remover eignen sich für die Entfernung sowohl ungetemperter als auch getrockneter Resistschichten. Dabei ist der Remover AR 600-70 der gebräuchlichste. Der Remover AR 300-70 dient außerdem speziellen Anwendungen, wie der Entfernung höher getemperter E-Beam Resist- und metallisierter Photoresistschichten im Lift-off-Prozess (z.B. AR-P 5350). Die neu entwickelten Remover AR 300-72 und 300-73 wurden für die Neuentwicklungen CAR 44 und AR-P 5400 konzipiert. Darüber hinaus eignet sich der AR 300-72 für die Ablösung stark anhaftender dünner Schichten. Weitere Einsatzmöglichkeiten werden derzeit untersucht. Die Remover AR 300-76, -70, 300-72 und 600-70 bestehen aus organischen Lösemitteln, der AR 300-73 ist wässrig-alkalisch.

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» AR 600-70, -71, AR 300-76, -70, -72, -73

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