Resist des Monats Oktober: Fluoreszierende Resiststrukturen mit SX AR-P 672.08

Fluoreszierende Strukturen werden für optische Komponenten und in der Mikroskopie benötigt. In enger Zusammenarbeit mit der Präzisionsoptik Gera GmbH ist es uns nun gelungen, PMMA E-Beamresists auf Anisolbasis mit fluoreszierenden Farbstoffen zu versetzen und diese mittels Elektronenstrahl-Lithographie zu strukturieren. In beiden Bildern ist eine intensive grün-gelbe bzw. rote Fluoreszenz der Strukturen zu sehen.

POG_wafer_Lumogen-gelb

Abbildung 1: Grün-gelbe Fluoreszenz mit SX AR-P 672.08/1

POG_wafer_Lumogen -rot

Abbildung 2: Rote Fluoreszenz mit SX AR-P 672.08/2

Diese brilliant fluoreszierenden PMMA-Resists werden auf der diesjährigen Konferenz MNE in Portugal vorgestellt. Erste Muster stehen in Kürze unter der Bezeichnung SX AR-P 672.08/1 für grün-gelb und als SX AR-P 672.08/2 für rote Fluoreszenz zur Testung bereit.

Die erfolgreichen Ergebnisse dieser Fluoreszenz Produkte überzeugten uns, diese beiden Lacke zum Resist des Monats Oktober zu küren.

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