SX AR-PC 5000/22.2

Der Protective Coating SX AR-PC 5000/22.2 ist ein Schutzlack auf Novolak-Basis.

Seine Funktion besteht in der Erzeugung sehr dünner, stabiler Schutzschichten mit extrem glatter Oberfläche. Er wird bevorzugt mittels Sprühbeschichtung aufgetragen, kann jedoch auch mittels Schleuder- oder Tauchbeschichtung beschichtet werden.

Aufgrund der sehr glatten Oberfläche können die Schichten zur Glättung von Substratoberflächen genutzt werden. Mittels Plasmaätzen wird dann die Oberflächengüte in das Substrat übertragen.

Die erzeugte Schicht ist nicht lichtempfindlich und bis 140 °C thermisch stabil. Der Resist besteht hauptsächlich aus Novolak, oberflächenglättenden Mitteln (Tensiden) und einem Lösemittelgemisch mit den Hauptkomponenten Ethyllactat und Butylacetat.

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