31. Ausgabe der AR NEWS
Oktober 2015
Willkommen zur 31. Ausgabe der AR NEWS. Wir möchten Sie auch künftig gern über die Weiterentwicklung unseres Unternehmens und seiner Forschungsprojekte informieren.
Inhaltsverzeichnis
1. Innovative Neuentwicklungen auf der MNE 2015 und SEMICON Europa vorgestellt:
Ein Fall für Zwei – CSAR 62 & Electra 92
2. Espacer-Alternative Electra 92 erfüllt Anwendererwartungen
2.1 Lange Haltbarkeit von Electra 92
2.2 CSAR-Strukturen auf Glas, ermöglicht durch Electra 92
2.3 PMMA-Lift-off-Strukturen auf Halbedelsteinsubstraten mittels Electra 92
2.4 Electra 92 für Anwendungen auf novolakbasierten Resists –
Neue Variante SX AR-PC 5000/91.1 für Negativ-CAR AR-N 7700 auf Glas
3. PPA-Litho-Projekt: Erste Beispiele für die Anwendung der neuen PPA-Resists
4. Allresist wird 23 Jahre alt und verjüngt sich
5. Chemnitzer Seminar „Elektronenstrahl-Lithographie“ im Fraunhofer Institut ENAS
