36. Ausgabe der AR NEWS
Oktober 2017
Willkommen zur 36. Ausgabe der AR NEWS. Wir möchten Sie auch künftig gern über die Weiterentwicklung unseres Unternehmens und seiner Forschungsprojekte informieren.
Inhaltsverzeichnis
1. 25 Jahre Allresist – eine Erfolgsgeschichte auch der Resistentwicklung
2. Allresist auf dem Kongress MNE mit Atlas 46
3. Neue innovative Produktentwicklungen
3.1. Fluoreszierende und farbige Resists für die Optik und Sensorik
3.2. dicker(er) CSAR 62 für die Herstellung tiefer Ätzgruben
3.3. CSAR 62 innerhalb eines Dreilagensystems zur Erzeugung von T-Gates
