39. Ausgabe der AR NEWS
April 2019
April 2019
Willkommen zur 39. Ausgabe der AR NEWS. Wir möchten Sie auch künftig gern über die Weiterentwicklung unseres Unternehmens und seiner Forschungsprojekte informieren.
1. Synthesewoche im neuen Produktionstrakt
2. Allresist auf den Kongressen Triple Beam (EIPBN 2019) und MNE 2019
3. Medusa 82 besteht vielfältige Anwendungstests
3.1. Auflösungstest mit dem empfindlichen PAG-Medusa 82 (SX AR-N 8250)
3.2. Einfluss des PEB auf die Empfindlichkeit von Medusa 82
3.3. Plasmaätzversuche mit Medusa-Strukturen
3.4. Medusa 82 mit einem gezielt geringen Kontrast
4. Fünf farbige Negativresists auf einem Glaswafer