Photoresists sind lichtempfindlich, reagieren auf Licht- und Temperatureinwirkung und altern im Verlauf ihrer Lagerung. Sie werden daher in lichtgeschützten Braunglasflaschen abgefüllt, kühl gelagert und dürfen nur in Gelblichträumen (λ > 500 nm) verarbeitet werden. Das Haltbarkeitsdatum und die empfohlene Lagertemperatur sind auf dem jeweiligen Produktetikett vermerkt. Bei Einhaltung dieser Temperaturen sind die Resists im ungeöffneten Zustand bis zum Ablauf des Haltbarkeitsdatums (das sind i. d. R. 2 Jahre nach Herstellung), mindestens jedoch 6 Monate ab Verkaufsdatum, haltbar.
Einige Photoresists sind über das Haltbarkeitsdatum hinaus verwendbar, wenn sie im ungeöffneten Zustand bei einer niedrigeren optimalen Temperatur (5 – 8 °C gegenüber den empfohlenen 10 – 18 °C) gelagert werden.
Das häufige Öffnen der Lackflaschen bewirkt, dass Lösemittel verdunstet und der Lack „eindickt“, d.h. dadurch werden dickere Schichten erzeugt. Schon 1 % Lösemittelverlust bewirkt bei einem Resist bei 1,4 µm Schichtdicke etwa eine um 4 % dickere Schicht und dadurch einen Anstieg der Belichtungsdosis.
Niemals sollten aus dem Kühlschrank genommene Flaschen sofort geöffnet werden, da sich sonst Luftfeuchtigkeit in dem kalten Lack niederschlägt. Vor dem Öffnen also erst auf Raumtemperatur erwärmen lassen.
Im Verlauf der Lagerung entstehen durch thermische chemische Reaktion der lichtempfindlichen Komponente mit dem Novolak rote Azofarbstoffe, die den Lack nachdunkeln lassen. Dabei färben bereits geringe Mengen des Farbstoffes den Lack dunkler, was sich jedoch ansonsten nicht gravierend auf die Lackeigenschaften auswirkt.
Mehrere Jahre gelagerte Photolacke sind überaltert und nur noch mit deutlichen Einschränkungen verwendbar. Das gilt auch für bei zu hohen Temperaturen gelagerte sowie stark verdünnte Lacke, die rascher als normal altern. Auswirkungen sind z.B. Partikelbildungen infolge von Ausfällungen der lichtempfindlichen Komponente. Nochmalige Filtrationen bei 0,2 µm helfen nur im Anfangsstadium. Später jedoch fehlen die wegfiltrierten Partikel im Lack und bewirken neben niedrigeren Entwicklungsraten einen erhöhten Dunkelabtrag sowie eine schlechtere Lackhaftung.
Wird der Lack entgegen der Empfehlung längere Zeit bei hohen Temperaturen gelagert (z.B. im Sommer), kann Stickstoff aus der lichtempfindlichen Komponente abgespalten werden, die Flasche zischt und schäumt beim Aufmachen. Hier hilft ein langes Stehen lassen mit nicht ganz geschlossenem Deckel, nach 1 – 2 Tagen beruhigt sich der Lack. Dauerte die falsche Lagerung nicht zu lange, kann der Resist danach noch verwendet werden.