Resist des Monats April 2021: CSAR 62 – weltweit begehrt

Vor 8 Jahren wurden die Entwicklungsarbeiten an unserem Elektronenstrahlresist CSAR 62 abgeschlossen. Die Markteinführung gelang sehr schnell. Damit wurde das Marktmonopol der japanischen Firma ZEON gebrochen, die bis dahin als einzige einen solch hochwertigen E-Beamresist anbot. Für die Entwicklung und schnelle Markteinführung wurde die Allresist 2014 mit dem Innovationspreis Brandenburg ausgezeichnet.

Mittlerweile hat sich der CSAR 62 weltweit etabliert und die Nachfrage steigt immer weiter. Da wir das Polymer selber herstellen, mussten wir ein Skaling Up der Synthese vornehmen. Zunächst gelang der Sprung vom Labormaßstab in einen 20-Liter-Hänger. Nach der Optimierung der Synthesebedingungen wagten wir den Schritt in unseren 200-Liter-Synthesereaktor. Die Polymerisation verlief erfolgreich, alle analytischen Werte wurden erreicht und die Ausbeute konnte weiter gesteigert werden. Damit verfügen wir über eine Menge an hochwertigen Rohstoff für CSAR 62, die bei dem aktuellen Bedarf über drei Jahre reichen würden. Da wir im letzten Monaten die beiden ersten Rahmenverträge über regelmäßige, größere CSAR-Lieferungen abschlossen, sind wir gern bereit, den nächsten Großansatz deutlich vorzuziehen.

Produktionsräume der Allresist mit dem 200-Liter-Synthesereaktor „Frieda”

Work-Art-Strukturen des CSAR 62 @MLU-Halle

Dreilagen Prozess für die Herstellung von T-Gates

PMMA (unten)/AR-P 617 (Mitte)/CSAR 62 (oben)

Fertiges T-Gate   @MLU-Halle

Die erfolgreiche Vermarktung des CSAR 62 mit seinen vielfältigen Anwendungseigenschaften war für uns Anlass, ihn zum Resist des Monat April zu machen.