Einträge von Ulrike Schirmer

44. Ausgabe der AR NEWS

Themen im Überblick:
1. Arbeiten im Zeichen von Corona
2. Effizientere Herstellung von Electra 92
3. RUBIN-Projekt für die optische Sensorik eingelobt
4. EOS 72, ein chemisch verstärkter Positiv-E-Beam Resist
5. Allresist pflanzt Bäume

Oktober 2021: Effizientere Herstellung von Electra 92

Viele Anwender nutzen mittlerweile die Leitfähigkeit der Electra-Schichten für ihre Prozesse und Technolgien. Seit der Einführung in den Markt 2018 wurden die Synthese und die Aufarbeitung von Electra stetig verbessert. Es gelang z.B., die Leitfähigkeit im Zeitraum von 2018 bis 2020 um den Faktor 5 zu erhöhen.