Phoenix 81 wurde im Rahmen eines Eurostar-Projektes gemeinsam mit der Swisslitho AG (jetzt Heidelberg Instruments Nano) entwickelt. Mit dem NanoFrazor lassen sich durch thermische Rastersonden-Lithographie (thermal scanning probe lithography oder t-SPL) bis zu 10 nm kleine Strukturen schreiben, indem eine heiße Nadel in die Resistschicht taucht und diese an der Stelle verdampft (siehe u.a. AR NEWS, 42. Ausgabe).
Themen im Überblick:
1. Arbeiten im Zeichen von Corona
2. Effizientere Herstellung von Electra 92
3. RUBIN-Projekt für die optische Sensorik eingelobt
4. EOS 72, ein chemisch verstärkter Positiv-E-Beam Resist
5. Allresist pflanzt Bäume
Viele Anwender nutzen mittlerweile die Leitfähigkeit der Electra-Schichten für ihre Prozesse und Technolgien. Seit der Einführung in den Markt 2018 wurden die Synthese und die Aufarbeitung von Electra stetig verbessert. Es gelang z.B., die Leitfähigkeit im Zeitraum von 2018 bis 2020 um den Faktor 5 zu erhöhen.
Für die Herstellung galvanischer Bauteile ist der SU-8 wegen seine exzellenten Strukturgüte prinzipiell geeignet. Jedoch spricht die außerordentlich schwierige Entfernung der Resiststrukturen nach der Galvanik gegen einen Einsatz.
Themen im Überblick:
1. Allresist zukunftsfähig
2. Allresist investiert in neue Technik
3. Strukturierbare leitfähige Schichten
4. CSAR 62 – weltweit begehrt
Mittlerweile hat sich der CSAR 62 weltweit etabliert und die Nachfrage steigt immer weiter. Da wir das Polymer selber herstellen, mussten wir ein Skaling Up der Synthese vornehmen. Nach der Optimierung der Synthesebedingungen wagten wir den Schritt in unseren 200-Liter-Synthesereaktor.
Die Entwicklungsarbeiten an unserem neuen Photoresist Atlas 46 wurden fortgeführt. Anhand eigener Ergebnisse oder durch Hinweise und Wünsche der Anwender wurde die Rezeptur und die Eigenschaften verbessert.
Die Märkische Oderzeitung schrieb am 07.05.2020 einen Artikel über unser Engagement in der Corona-Krise.
Die Märkische Oderzeitung schrieb am 07.05.2020 einen Artikel über unser Engagement in der Corona-Krise.
Themen im Überblick:
1. Ministerpräsident Dietmar Woidke besucht Allresist in Corona-Zeiten
2. Länger haltbare und empfindlichere HSQ-Alternative Medusa 82 für die Grauton-
Lithographie
3. Medusa für die UV-Lithographie
4. Thermisch strukturierbare Resists