Produktionstrakt-Erweiterung
Allresist fuhr am 29. April 2019 den neuen Produktionstrakt ein, in dem künftig 1.000 l Resist-Ansätze und große Synthesen mit modernster Technik unter Berücksichtigung aller Sicherheitsbelange stattfinden.
April 2019: Phoenix 81
Allresist hat Phoenix 81 (AR-P 8100) in einem Eurostar-Projekt zusammen mit der Swisslitho AG und anderen Partnern entwickelt. Swisslitho hat jetzt den NanoFrazor mit einem Laser-Direktschreiber ergänzt (siehe Abb. 1). Nunmehr ist es möglich, komplizierte Strukturen wie z.B. Single-Elektronen-Transistoren (SET) kostengünstig herzustellen. Die SET bestehen aus sehr kleinen Strukturen von wenigen Nanometern und relativ großen Details mit einigen 10 µm (siehe Abb. 2).
39. Ausgabe der AR NEWS
Themen im Überblick:
Synthesewoche im neuen Produktionstrakt
; Allresist auf den Kongressen Triple Beam (EIPBN 2019) und MNE 2019
; Medusa 82 besteht vielfältige Anwendungstests
; Auflösungstest mit dem empfindlichen PAG-Medusa 82 (SX AR-N 8250)
; Einfluss des PEB auf die Empfindlichkeit von Medusa 82
; Plasmaätzversuche mit Medusa-Strukturen
; Medusa 82 mit einem gezielt geringen Kontrast
; Fünf farbige Negativresists auf einem Glaswafer
38. Ausgabe der AR NEWS
Themen im Überblick:
26 Jahre Allresist – Einweihung des neuen Anbaues zum Firmenjubiläum
; Allresist landet mit Medusa 82 großen Erfolg auf der MNE 2018
; Weitere Allresist-Highlights auf der MNE
; Atlas 46 für die E-Beam-Lithographie
; Phoenix 81 – der weltweite Vertrieb beginnt
; Nachwuchs bei Allresist – Next Generation
Oktober 2018: Medusa 82 – Stabiler und empfindlicher als der HSQ
Allresist ist es gelungen, eine Alternative zum HSQ zu entwickeln. Durch eine neue Modifikation des Polymers lässt sich der Resist Medusa sehr einfach handhaben.
MNE-Erfolg mit Medusa 82 in Kopenhagen
Wie bereits in den Vorjahren war das Interesse der Kongressteilnehmer an unseren vielfältigen Neuentwicklungen groß. Der absolute Höhepunkt war jedoch unsere Vorstellung von Medusa 82, einer exzellenten Alternative zum HSQ-Resists.
Juli 2018: Medusa 82 – die Alternative zum HSQ-Resist
Unserem Forschungsteam ist es in diesem Jahr gelungen, einen Negativresist hoher Auflösung und Plasmaätzstabilität in Sauerstoff zu entwickeln. Bereits mit den ersten Mustern gelang es die Eigenschaften des HSQ zu erreichen.
Allresist auf dem Kongress EIPBN in Puerto Rico
Erstmals nahm Allresist an der Triple Beam Konferenz (EIPBN 2018) teil. Matthias Schirmer und Dr. Christian Kaiser beantworteten auf ihrem Stand sehr viele Anfragen speziell zu den Elektronenstrahlresists. Die Resists CSAR 62 und Electra 92 sind mittlerweile weltweit etabliert, nun kommen mit Phoenix 81, Atlas 46 und Medusa 82 weitere für die Kunden sehr interessante Resists hinzu.
Brigitte Schirmer als Unternehmerin des Landes Brandenburg mit der Silbermedaille ausgezeichnet
Gestern, am 17. Mai, wurde Brigitte Schirmer als Unternehmerin des Landes Brandenburg 2018 mit dem 2. Platz geehrt. Damit wurde das ganze Unternehmen ausgezeichnet, das innovativ auf dem Weltmarkt aktiv ist und mit engem Kundenbezug maßgeschneiderte Produkte als Alleinstellungsmerkmal ausgebildet hat.
37. Ausgabe der AR NEWS
Themen im Überblick:
Unsere Firmen-Erweiterung wächst
; Allresist auf den Kongressen Triple Beam (EIPBN 2018) und MNE 2018
; Atlas 46 in mehreren Varianten für einen selektiven Zweilagen-Aufbau
; Fluoreszierende Resists für die Optik und Sensorik mit Atlas 46 S
; Medusa 82 – aus einem Resist werden „steinerne“ Strukturen
; Neuer Schutzlack für KOH-/ HF-Ätzungen – BlackProtect SX AR-PC 5000/41