Der neue Lack SX AR-PC 5000/41 (Black-Protect) ist bis 130 °C stabil und kann deshalb auch bei der KOH-Ätzung bei 85 °C eingesetzt werden. Die Schutzschicht widersteht bei einer ausreichenden Schichte > 5 µm sowohl konzentrierter Flusssäure als auch 40 % iger Kalilauge.
Der neue, stark isolierend wirkende Schutzlack SX AR-PC 5060 F-Protect ist eine gute Alternative zum bekannten Resist Cytop®. Der Resist besteht aus einem perfluorierten amorphen Copolymer, gelöst in einem Lösungsmittelgemisch aus Perfluortri-n-butylamin und Perfluor-n-dibutylmethylamin (Fluorinert™ FC-40).
Empfindliche Substrate können gegen Beschädigungen beim Handling, besonders bei der doppelseitigen Prozessierung, mittels des Schutzlacks SX AR-PC 5000/3.1 geschützt werden.
Da beim Beschichten der PMMA-Schutzlacke Probleme entstehen können, entstanden Ideen für die Optimierung ihres Beschichtungsverhaltens.
Aus der Motivation heraus, den Anwendern nicht nur die beste Qualität, sondern auch den höchstmöglichen Gesundheitsschutz zu bieten, wurde ein PMMA-Schutzlack mit dem safer solvent Lösemittel Anisol konzipiert.
Schutzlacke bestehen meist aus Novolaken oder PMMA-Polymeren. Der Schutz vor mechanischen Beschädigungen und die Beständigkeit gegenüber sauren Medien wird von beiden Polymeren ausreichend gewährleistet.
PMMA-Schichten zeichnen sich durch eine extrem glatte Oberfläche aus. An darauf hin optimierten Resists wurde eine Oberflächenrauigkeit von < 2 nm gemessen. Diese Eigenschaft kann zur Glättung von z.
Die Schutzlacke AR-PC 503 und 504 (Protective Coatings) widerstehen der 40%igen, 85°C warmen KOH über viele Stunden. Das Polymer PMMA wird nicht angegriffen. Somit können die Resists als Schutz der Vorder-