Chemisch verstärkter Negativresist ohne Vernetzungstemperung

Bei einigen Anwendungen kann das Substrat, auf dem der Negativlack eingesetzt werden soll, nicht erwärmt werden. Das trifft auf empfindliche Gläser und vor allem auf sehr große Substrate zu.

Chemisch verstärkter Negativresist (Prozessparameter und Auflösung)

Am Beispiel vom AR-N 4340 werden Prozessparameter, Empfindlichkeit, Auflösung, Kantenqualität und Maßverhalten dargestellt. Die Untersuchungen erfolgten auf 150mm-Wafern mit Si-Oberfläche.

Negativ-Zweilagen-lift-off System

Positiv-Zweilagen-Systeme sind schon lange auf dem Markt (→ Positiv-Zweilagen-lift-off Systeme). Nun mehr gibt es auch Varianten mit Negativresists als Oberlack. Der größte Vorteil für die Neuerung ist die höhere thermische Stabilität von Negativlacken.

Negativ-Poly (hydroxystyren-co-MMA)-Photoresist

Als Alternative zum Polyhydroxystyren-Negativresist wurde ein auf Copolymer Poly(hydroxystyren- co -MMA) basierender, empfindlicher CAR-Negativlack entwickelt, der ebenfalls wässrig alkalisch entwickelt werden kann.

Negativ-Poly(hydroxystyren)-Photoresist

Als Alternative zum Polyimid-Negativresist wurde ein auf Polyhydroxystyren basierender, sehr empfindlicher CAR-Negativlack entwickelt, der wässrig alkalisch entwickelt werden kann.

Negativ-Polyimid-Photoresist

Als Alternative zu dem Positiv-Polyimid-Resist ( SX AR-PC 5000/82.7 ), der schon im Lösemittel ein Polyimid ist und somit kein Curing-Prozess (siehe „Positiv-Polyimid Resist“ ) bei 350-

Sprühlacke für unterschiedliche Topologien (Negativ)

Allresist bietet auch unterschiedliche Negativresists für die Sprühbeschichtung an. Diese sind in diesem Artikel beschrieben (siehe Sprühlacke für unterschiedliche Topologien (Positiv und Negativ)

Alkalistabiler und lösemittelbeständiger Negativresist

Die meisten Novolak-basierten Photoresists zeichnen sich durch eine sehr gute Ätzstabilität gegenüber Säuren aus (außer hochkonzentrierten, oxidierenden Säuren oder konzentrierter Flusssäure)

Temperaturstabiler Negativresist

Neue, wässrig-alkalische lösliche Polymere können die Novolake in einigen Eigenschaften übertreffen. Die Standard-Novolake schmelzen in der Regel in dem Bereich von 115–130°C.