Lösemittel Remover

Der klassische Remover ist das Aceton. Als Reinigungsmittel zusammen mit Isopropanol (IPA) kommt es in fast jedem Labor zum Einsatz. Für nicht oder nur wenig gehärtete Schichten (bis 120 °C)

Remover Allgemein

Remover haben die Aufgabe, die Lackstrukturen bzw. -reste nach Abschluss des gewünschten technologischen Schrittes (Dotieren, Ätzen u.a.) restlos zu entfernen. Zu Beginn der Photolithographie wurden kräftige Remover eingesetzt,

Stopper

Stopper im klassischen Sinn werden hauptsächlich in der Elektronenstrahllithographie beim Einsatz von PMMA-Resists verwendet. Dabei haben sie die Funktion, nach der Entwicklung der bestrahlten PMMA-

Entwickleralterung

Wässrig basische Entwickler unterliegen einer Alterung durch CO2-Aufnahme aus der Luft. Die gepufferten wässrig alkalischen Entwickler (AR 300-26, -35) sind dabei stabiler als die TMAH-