Entwicklungsverfahren

Entwickler haben die Aufgabe, die belichteten Flächen bei den Positivresists und die unbelichteten Areale bei den Negativlacken rückstandsfrei zu entfernen. Dabei sollen sie möglichst jeweils die anderen Flächen des Wafers überhaupt nicht angreifen,

Entwickleralterung

Wässrig basische Entwickler unterliegen einer Alterung durch CO2 Aufnahme aus der Luft. Die gepufferten wässrig alkalischen Entwickler (AR 300-26, AR 300-35) sind dabei stabiler als die TMAH-haltigen Entwickler der Serie AR 300-40.