Haftvermittler HMDS und Diphenylsilandiol (AR 300-80)

Resists haften unterschiedlich gut auf verschiedenen Oberflächen. Viele Substrate wie, z.B. Silizium, Siliziumnitrid und Nichtedelmetalle (wie Aluminium, Kupfer) weisen im Allgemeinen eine gute Lackhaftung auf,

Andere Bestandteile von Resists

Die Lösemittel sind der Hauptbestandteil aller Resists. Von 50% (Dicklacke) bis zu 99% (Sprühlacke) beträgt der Anteil der Lösemittel. Die ersten Resists vor 1980 enthielten noch gesundheitsschädliche Lösemittel Toluol oder Cyclohexanon.