Haftvermittler HMDS und Diphenylsilandiol (AR 300-80)
Resists haften unterschiedlich gut auf verschiedenen Oberflächen. Viele Substrate wie, z.B. Silizium, Siliziumnitrid und Nichtedelmetalle (wie Aluminium, Kupfer) weisen im Allgemeinen eine gute Lackhaftung auf,