Einsatz von Electra 92 für REM-Anwendungen

Die Beschichtung mit Electra 92 auf elektrisch isolierend wirkenden Polymeren ermöglichte die qualitativ hochwertige Abbildung von Nanostrukturen im REM.

Bestimmung der Leitfähigkeit von Electra 92-Schichten auf Glas

Die spezifische Leitfähigkeit in dünnen Schichten kann mit unterschiedlichen Methoden ermittelt werden, z.B. berührungsfrei durch Wirbelstrommapping oder auch nach einer direkten Kontaktierung mittels Vierpunktmethode (Vierspitzenmessung).

PMMA-Lift-off-Strukturen auf Halb-Edelstein-Substraten mittels Electra 92

Halbedelsteine gewinnen als Substrate für die Halbleiterindustrie an Bedeutung. Mit Electra 92 ist eine Strukturierung möglich.

Electra 92-Variante optimiert für Novolak-basierte Resists

Durch höheren Lösemittel-Anteil werden Novolak-Lacke angegriffen. Deshalb wurde der SX AR-PC 5000/91.1 konzipiert, der bessere Beschichtungseigenschaften aufweist.