CSAR-Strukturen auf Glas
Die Verwendung einer Kombination von CSAR 62 und der leitfähigen Beschichtung Electra 92 in der E-Beam Lithographie ermöglicht die Erzeugung komplizierter Strukturen auf isolierenden Glas- oder semiisolierenden Substraten, wie z.B. Galliumarsenid. Die sehr hohe Empfindlichkeit und erreichbare höchste Auflösung von CSAR 62 werden durch die guten Leitfähigkeitseigenschaften von Electra 92 harmonisch ergänzt.
30 – 150 nm Quadrate von CSAR 62 auf Glas