Die gewünschte Strukturgröße hängt auch erheblich von der verwendeten Belichtungsdosis ab. Bei einer Überbelichtung beginnen sich die Strukturen zu vergrößern. Besonders ausgeprägt ist das bei einer Laserbestrahlung. In der Bildreihe sind 5-µm-Säulen bei unterschiedlichen Dosen gezeigt. Die ermittelte minimale Dosis reicht für die 5-µm-Säule nicht zu einem vollständigen Aufbau, es resultiert ein spitzer Kegel. Mit steigender Dosis (ab 30 mJ/cm²) wird die Säulenform erreicht und bei höheren Werten (ab 70 mJ/cm²) nimmt der Durchmesser der Zylinder durch die Überbelichtung und des damit verbundenen Streulichtes noch zu. Bei 120 mJ/cm² beträgt er bereits 7,5 µm. Aber auch bei einer Belichtung mit einem Maskaligner (Photolithographie) führt eine Überbelichtung zu größeren Strukturen, deshalb sollte zu Beginn der Anwendung die optimale Dosis ermittelt werden.
Bildreihe 6 mit 5 verschiedenen Dosen:
7 mJ/cm² 5 µm
40 mJ/cm² 5 µm
70 mJ/cm² 5 µm
90 mJ/cm² 5 µm
120 mJ/cm² 5 µm
Photoresist Negativ