Eingefärbte Negativ-Photoresists

Farbige Resiststrukturen werden vor allem in der optischen Industrie und in der Analytik benötig. FUJIFILM bietet rot, blau und grün gefärbte Negativresists auf Acrylatbasis an. Die Resists enthalten jedoch Farbpigmente mit der Größe einiger 100 nm, dadurch ist die Auflösung und die Kantenschärfe limitiert. Zudem werden organische Lösemittel als Entwickler verwendet.

Chip-Color-Filter

Abbildung 1: Ein Chip Color Filter mit farbigen Negativresists

Allresist bietet mittlerweile auch gefärbte Negativresists mit der Bezeichnung SX AR-N 8350 an. Der Unterschied zu den FUJIFILM Lacken besteht darin, dass in den Resists Farbstoffe und keine Pigmente gelöst sind. Damit können eine hohe Auflösung und scharfe Kanten erreicht werden. Da als Grundlack ein leicht modifizierter Negativresist für die „normale“ Photolithographie verwendet wird, ist die Entwicklung mit den üblichen wässrig alkalischen Entwicklern möglich.

farbige-AR-Logos

Abbildung 2: AR-Logo mit unterschiedlichen Farben

Farbenresist-Poster-2017

Abbildung 3: MNE-Poster 2017