Erzeugung senkrechter Flanken mit CAR44

An der TU-Braunschweig wurde AR-N 4400-50 speziell hinsichtlich der Erzeugung gut definierter Resistarchitekturen mit vertikalen Flanken detailliert untersucht. CAR44-Schichten variabler Schichtdicke wurden bei 95°C auf der Hotplate getrocknet, dabei wurden die erforderliche optimale Softbake-Zeit mit etwa 1 Minute pro Mikrometer Schichtdicke abgeschätzt. Die für eine ausreichende Vernetzung und Erzeugung vertikaler Flanken minimal benötigte Belichtungsdosis wurde mit etwa 26 mJ/cm2 pro Mikrometer Schichtdicke bestimmt. Nach dem für die Vernetzung notwendigen PEB-Schritt bei 95°C wurde bei Raumtemperatur tauchentwickelt, unterstützt durch Megaschall. Die zusätzliche Agitation ermöglicht ein beschleunigtes Entwickeln bis in tiefere Schichten, die Entwicklungszeiten können dadurch verringert werden. Durch diese optimierte Prozessführung ließen sich Strukturen mit einem Aspektverhältnis von über 18:1 bei einem Flankenwinkel von etwa 91° erzielen.

 Aspektverhaeltnis-Flankenwinkel-CAR44

Abbildung: Ermitteltes Aspektverhältnis und Flankenwinkel von CAR44 anhand von Teststrukturen

CAR44-Galvanoformen

Abbildung: galvanisch abgeschiedene Metallstrukturen in formstabilen CAR44 Galvanoformen.

Durch seine hohe Formstabilität und im Gegensatz zu SU-8 sehr guten Removingeigenschaften sind die Resists der Serie CAR44 (AR-N 4400) hervorragend für galvanische Anwendungen geeignet.