Einfallende Primärelektronen können beim Eintritt oder Durchqueren von Resistschichten neben den auftretenden elastischen Streueffekten bei einer Kollision mit anderen Elektronen oder Atomen auch unelastisch gestreut werden. Dabei übertragen die Primärelektronen einen Teil ihrer Energie bzw. ihres Impulses auf andere Elektronen. Die freigesetzten Sekundär-elektronen, die eine andere Wellenlänge haben können, z.B. die Auger-Elektronen, sind dann ebenfalls in der Lage chemische Bindungen aufzuspalten und weitere Elektronen geringerer Energie im Material freizusetzen. Es kommt zur Ausbildung einer Elektronenkaskade.
