Eurostar-Projekt: PPA-Litho
Laufzeit: 2014 – 2017
Gegenstand
Kommerziell verfügbare Resistmaterialien auf Basis von Polyphthalaldehyden für erweitere Lithographie-Anwendungen
Ziel
Entwicklung und spätere Produktion von thermisch strukturierbaren Resists auf der Basis von Polyphthalaldehyden für die Nano-Frazor-Technologie (analog der E-Beam-Technologie)
Aktueller Stand
Im Rahmen des Projektes wurde von verschiedenen Partnern eine Vielzahl von PPAPolymer-Muster (weit über 100) hergestellt. In den folgenden Arbeitspaketen wurden stets dutzende Muster synthetisiert und untersucht, in dem Bericht werden meist nur die besten Ergebnisse dargestellt, die Vielzahl der wenig erfolgreichen Versuche band jedoch auch eine Menge Arbeitszeit.
Kooperationspartner
Allresist GmbH
SwissLitho AG (Zürich, Schweiz)
Institut für Dünnschichttechnologie und Mikrosensorik e.V. (Teltow)
JOANNEUM RESEARCH Forschungsgesellschaft mbH (Graz, Österreich)
Aglycon Dr. Spreitz KG (Allerheiligen, Österreich)