PMMA-, Copolymer und Styrenacrylat-Resists sind im sichtbaren UV (> 300 nm) nicht lichtempfindlich, sie reagieren also nicht auf dieses Licht (Gelblicht nicht erforderlich) und weniger gravierend als novolakbasierte Resists auf Temperatureinwirkung. Sie altern nur sehr langsam, Alterungserscheinungen sind das allmähliche Eindicken, das aber ohne Einbußen auf die Qualität bleibt. Lediglich die Schichtdicke wird etwas höher, was aber beim Beschichten korrigiert werden kann.
Novolakbasierte E-Beam Resists sind dagegen wie Photoresists lichtempfindlich, reagieren auf Licht- und Temperatureinwirkung und altern stärker im Verlauf ihrer Lagerung. Sie werden daher in lichtgeschützten Braunglasflaschen abgefüllt, kühl gelagert und dürfen nur in Gelblichträumen (λ > 500 nm) verarbeitet werden. Ausnahmen sind die Experimentalmuster SX AR-N 7530/1 und SX AR-N 7730/1. Durch ihre speziellen Säuregeneratoren sind die beiden Resists ebenfalls nicht im sichtbaren UV (> 300 nm) empfindlich und benötigen kein Gelblicht.
Das Haltbarkeitsdatum und die empfohlene Lagertemperatur sind bei den E-Beam Resists auf dem jeweiligen Produktetikett vermerkt. Bei Einhaltung der Temperaturen sind die Resists bis zum Ablauf des Haltbarkeitsdatums ohne Einschränkung, mindestens jedoch 6 Monate ab Verkaufsdatum haltbar. Ein häufiges Öffnen der Lackflaschen bewirkt, dass der Lack verdunstet und „eindickt“, d.h. dadurch werden dickere Schichten erzeugt. Schon 1 % Lösemittelverlust bewirkt bei einem Resist bei 1,4 µm Schichtdicke etwa eine um 3 – 5 % dickere Schicht und dadurch einen Anstieg der Belichtungsdosis.
Beispiele einiger unserer Kunden und unsere Langzeituntersuchungen belegen, dass PMMA- und Copolymer E-Beamresists bis zu 2 Jahren ohne Qualitätsverlust eingesetzt wurden.
Niemals sollten aus dem Kühlschrank genommene Flaschen sofort geöffnet werden, da sich sonst Luftfeuchtigkeit in dem kalten Lack niederschlägt. Vor dem Öffnen also erst auf Raumtemperatur erwärmen lassen.
Photoresist FAQs