2. Wie lange sind Photoresists haltbar und welches sind die optimalen Lagerbedingungen?

Photoresists sind lichtempfindlich, reagieren auf Licht- und Temperatureinwirkung und altern im Verlauf ihrer Lagerung. Sie werden daher in lichtgeschützten Braunglasflaschen abgefüllt, kühl gelagert und dürfen nur in Gelblichträumen (λ > 500 nm) verarbeitet werden. Das Haltbarkeitsdatum und die empfohlene Lagertemperatur sind auf dem jeweiligen Produktetikett vermerkt. Bei Einhaltung dieser Temperaturen sind die Resists im ungeöffneten Zustand bis zum Ablauf des Haltbarkeitsdatums (das sind i. d. R. 2 Jahre nach Herstellung), mindestens jedoch 6 Monate ab Verkaufsdatum, haltbar. Kurzzeitige Temperaturabweichungen haben keinen Einfluss auf die Produkteigenschaften.

Sollen Resists länger als 6 Monate nach Verkaufsdatum eingesetzt bzw. innerhalb sehr enger Prozessfenster prozessiert werden, empfiehlt sich eine Lagerung bei 4 – 8 °C. Ausnahmen bilden Lacke, die bei 18 – 25 °C lagern sollen, diese dürfen nicht kälter gelagert werden. Mehrere Jahre gelagerte Photolacke sind überaltert und nur noch mit deutlichen Einschränkungen verwendbar. (siehe auch Punkt 3)

Niemals sollten aus dem Kühlschrank genommene Flaschen sofort geöffnet werden, da sich sonst Luftfeuchtigkeit in dem kalten Lack niederschlägt. Vor dem Öffnen also erst auf Raumtemperatur erwärmen lassen.

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