3. Wie wirken sich Alterungserscheinungen bei Photoresists aus?

Im Verlauf der Lagerung entstehen durch thermische chemische Reaktion der lichtempfindlichen Komponente mit dem Novolak rote Azofarbstoffe, die den Lack nachdunkeln lassen. Dabei färben bereits geringe Mengen des Farbstoffes den Lack dunkler, was sich jedoch ansonsten nicht gravierend auf die Lackeigenschaften auswirkt.

Mehrere Jahre gelagerte Photolacke sind überaltert und nur noch mit deutlichen Einschränkungen verwendbar. Das gilt auch für bei zu hohen Temperaturen gelagerte sowie stark verdünnte Lacke, die rascher als normal altern. Auswirkungen sind z.B. Partikelbildungen infolge von Ausfällungen der lichtempfindlichen Komponente. Nochmalige Filtrationen bei 0,2 µm helfen nur im Anfangsstadium. Später jedoch fehlen die wegfiltrierten Partikel im Lack und bewirken neben niedrigeren Entwicklungsraten einen erhöhten Dunkelabtrag sowie eine schlechtere Lackhaftung.

Wird der Lack entgegen der Empfehlung längere Zeit bei hohen Temperaturen gelagert (z.B. im Sommer), kann Stickstoff aus der lichtempfindlichen Komponente abgespalten werden, die Flasche zischt und schäumt beim Aufmachen. Hier hilft ein langes Stehen lassen mit nicht ganz geschlossenem Deckel, nach 1 – 2 Tagen beruhigt sich der Lack. Dauerte die falsche Lagerung nicht zu lange, kann der Resist danach noch verwendet werden.

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