Die Auflösung von Resists ist von mehreren Parametern, wie z.B. vom Maskelinertyp, vor allem dessen NA (numerische Apertur), Schichtdicke, Belichtungswellenlänge, Entwicklerkonzentration und -dauer, Substrat (z.B. Reflexionsverhalten) und einigen Parametern mit geringeren Einflüssen abhängig.
Typische Werte der maximalen Auflösung für 1,4 µm dicke Positiv-Lacke sind eine Auflösung von 0,5 und ein Kontrast von 4,5. Werte für jeden Photoresisttyp finden Sie in unserer Parametersammlung unter Photoresists.
Photoresist FAQs