Gebrauchsfertige Sprühresists mit EVG-Geräten (Positiv und Negativ)
Das Spray-Coating wird oft für die Beschichtung komplizierter Topologien verwendet. Es gibt verschiedene Hersteller für Spray-Coating Geräte, die beiden wohl bekanntesten sind die EV Group und Süss Microtec. Beide Hersteller verwenden unterschiedliche Zerstäubungsstrategien und -geräte. Deshalb müssen gebrauchsfertige Sprühresists für das jeweilige Equipment angepasst werden.
Auf dem Resistmarkt ist nur der AZ 4999 bekannt, der direkt eingesetzt werden kann. Andere Resistlieferanten empfehlen ihren Kunden eine Verdünnung ihrer Resists mit z.B. Aceton oder Methylethylketon.
Allresist hat in Kooperation mit der EV Group die Sprayresists AR-P 1200 (Positivlacke) und AR-N 2200 (Negativlacke) für die EVG-Maschinen optimiert. Sie können direkt aus der Flasche eingesetzt werden. Beide Bilder zeigen die exzellente Oberflächenqualität und die exakten Strukturen.
AR-N 2220 Strukturen über 200 µm tiefe Kavitäten
AR-P 1220 REM Aufnahme von der Bedeckung der Grube mit Resist
Photoresist