Electra 94 mit verlängerter Haltbarkeit – AR-PC 5094.02

Allresist arbeitet kontinuierlich an der Verbesserung ihrer Produkte. Beim leitfähigen Resist Electra 92 legen die Kunden neben den guten Anwendungseigenschaften besonderen Wert auf eine möglichst lange Haltbarkeit. Vor über zwei Jahren wurden Langzeituntersuchungen mit neuen Tensiden für Electra begonnen, die jetzt abgeschlossen sind.

Fast alle Rezepturen überstanden den Zeitraum bei einer normalen Kühlschranklagerung unbeschadet. Sowohl die Schichtdicke als auch das Schichtbild und die Leitfähigkeit veränderten sich nicht. Besonders gute Eigenschaften wies eine Tensidmischung auf, die wir seit kurzer Zeit unter der Artikelbezeichnung AR-PC 5094.02 verkaufen. Electra 94 ist für alle E-Beam-Resists, auch für Medusa 84 und HSQ, geeignet, jedoch aufgrund seines niedrigen pH-Wertes nicht für Positiv-CAR.

Aufgrund der ausgezeichneten Stabilität können wir nun die Haltbarkeit von Electra 94 auf zwei Jahre ausdehnen. Die weitere Durchführung kontinuierlicher Qualitätskontrollen wird Aufschluss darüber geben, ob eine Verlängerung der Haltbarkeit über zwei Jahre hinaus möglich ist.

Abb. 1: Mittels AR-PC 5094.02 erzeugte Medusa 84 Stempel mit einer Kantenlänge bis zu 30 nm.

Dieser Erfolg hat uns dazu bewogen, Electra 94 zum Resist des Monats Januar zu wählen.