Resist des Monats Juli 2021-
Negativresist CAR 44 für galvanische Abformungen
Juli 2021
Für die Herstellung galvanischer Bauteile ist der SU-8 wegen seine exzellenten Strukturgüte prinzipiell geeignet. Jedoch spricht die außerordentlich schwierige Entfernung der Resiststrukturen nach der Galvanik gegen einen Einsatz. Unser Negativresist AR-N 4400-50 (CAR 44), der ebenfalls für Schichtdicken bis 100 µm eingesetzt werden kann, ist hingegen nach dem Prozess relativ leicht entfernbar.
In Zusammenarbeit mit der United Monolithic Semiconductors GmbH, Ulm, ist es gelungen, das Bearbeitungsverfahren für den AR-N 4400-50 so zu optimieren, dass 30-µm-Strukturen mit einer senkrechten Kante erzeugt wurden. Das Belichtungs- und Entwicklungsregime wurde punktgenau auf die technologischen Erfordernisse angepasst. Mit diesen Lackstrukturen wurde dann die Galvanik durchgeführt. Die Metalldicke betrug abschließend die gewünschten 18 µm.
Detailaufnahme der Metallstruktur, die die senkrechte Kante des AR-N 4400-50 belegt
Metallisierte Strukturen nach dem Lackentfernen
Die erfolgreiche Evaluierung des AR-N 4400-50 bei einem unserer größten Kunden war für uns Anlass, ihn zum Resist des Monat Juli zu machen.