Durch Zusatz geeigneter Farbstoffen zu den negativ arbeitenden CAR-Resists kann auch bei Wellenlängen außerhalb des sonst üblichen Wellenlängenbereichs strukturiert werden, wenn mit gepulsten Lasern in ausreichender Intensität bestrahlt wird. Wichtige Laserwellenlängen sind z.B. 532 nm und 1064 nm. Durch die Bestrahlung erwärmt sich der im jeweiligen Wellenlängenbereich intensiv absorbierende Farbstoff und induziert dadurch die Vernetzung in der Lackschicht. Viele Anwender von Lasersystemen arbeiten nicht unter Gelblichtbedingungen. Daher müssen lichtempfindliche Verbindungen eingesetzt werden, die unter Weißlicht stabil sind, entsprechend nur durch UV-Licht mit einer Wellenlänge <300 nm aktiviert werden und vernetzen.
Photoresist Negativ