Sowohl auf der SEMICON Europe 2015 in Dresden (6.10.-8.10.) als auch auf der MNE 2015 in Den Haag (21.9.-24.9.) wurden die neuesten Ergebnisse des Electra 92, den es seit September in 2 Versionen gibt, dem sehr interessierten Fachpublikum vorgestellt.
Electra 92 wird als Toplayer auf anderen E-Beamresists, wie z.B. dem positiven CSAR 62, PMMA, HSQ (Variante AR-PC 5090.02, eh. SX AR-PC 5000/90.2) oder den negativen Lacken AR-N 7520 und AR-N 7700.08 (empfohlene Variante AR-PC 5091.02) beschichtet. Dort leitet Electra 92 die störenden Aufladungen, die bei der E-Beambestrahlung entstehen, zuverlässig ab und lässt sich danach wieder leicht entfernen. Damit stellt er eine effiziente Alternative sowohl zu den aufwendigen Edelmetallbeschichtungen, als auch zum Espacer dar, der nur wenige Monate haltbar und außerdem sehr teuer ist. Viele Anwender haben bereits bestätigt, dass Electra 92 in seinen Eigenschaften dem Espacer mindestens ebenbürtig ist. Sogar auf problematischen Oberflächen, wie z.B. der des HSQ, zeigt Electra 92 gute Haftungseigenschaften. Electra 92 ist darüber hinaus deutlich länger haltbar. Wie detaillierte Untersuchungen zeigen, war die Funktionalität auch noch nach 15 Monaten Lagerzeit unverändert gegeben. Ein weiterer großer Vorteil ist der viel günstigere Preis: Aktuell ist Electra 92 etwa 4x preiswerter, bei sofortiger Verfügbarkeit in variablen Gebindegrößen von 30 ml, 100 ml und 250 ml bis hin zu 1 Liter. 30 ml Testproben gibt es sogar zum halben Preis.
Das ideale Paar sind Electra 92 auf CSAR 62. Die sehr gute Empfindlichkeit und die extrem hohe Auflösung des CSAR 62 können durch Beschichtung mit Electra 92 auch auf isolierenden Substraten wie Quarzglas oder Saphir genutzt werden. Aber auch bei allen anderen E-Beamresists kann Electra 92 seine Fähigkeiten voll entfalten.
Auf der MNE 2015 wurden auch neue Applikationsmöglichkeiten des CSAR 62 vorgestellt. Gern schicken wir Ihnen Informationen zu.
