Medusa 84, die zuverlässige Alternative zum HSQ-Resist

Im letzten Jahr wurde intensiv am Resist Medusa 84 gearbeitet. Die Synthese und folgende Aufarbeitung der Polymere wurde so gestaltet, dass die stabilste Molekülfraktion isoliert werden konnte. Dadurch sind verbesserte Haltbarkeiten möglich: Bei einem Feststoffgehalt bis 8 % (AR-N 8400.08) sind bei einfacher Kühlschranklagerung Lagerzeiten über 6 Monate ohne Qualitätseinbuße möglich.

Ein Vergleich (Frau Joanne Schieser, Raith GmbH) von speziell angefertigten 20 nm dicken Schichten Medusa 84 und einem HSQ (Pulver) Resist ergab eine etwas bessere Auflösung von Medusa 84 (3,6 nm) gegenüber dem HSQ Resist (5,2 nm). Auch die Ergebnisse 65 Tage nach der Beschichtung zeigten bessere Resultate für Medusa 84 (5,9 nm zu 6,9 nm). Das verdeutlicht die erhöhte Qualität der Medusa 84 Schichten gegenüber dem HSQ-Polymer.

Medusa 84 Proben wurden 3,5 Monate bei −30 °C, bei 0 °C und bei Raumtemperatur gelagert. Erstaunlicherweise gab es kaum einen Unterschied zwischen den drei Lagerbedingungen. Unabhängig von der Lagertemperatur wiesen alle Proben eine minimale Linienbreite zwischen 3,6 und 4,2 nm auf.

Abb. 1: Auflösungstest nach unterschiedlichen Lagerungsbedingungen. Single Pixle Lines in Medusa 84 bei unterschiedlichen Lagerungstemperaturen nach 3,5 Monaten.

Wir haben die Qualität des Medusa 84 jetzt auf ein so hohes Niveau gehoben, dass wir den Anwendern eine praktikable und anwenderfreundliche Alternative anbieten können. Dieser Erfolg hat uns dazu bewogen, Medusa 84 zum Resist des Monats Oktober zu wählen.