Positiv-Zweilagen-Systeme sind schon lange auf dem Markt (→ Positiv-Zweilagen-lift-off Systeme). Nun mehr gibt es auch Varianten mit Negativresists als Oberlack. Der größte Vorteil für die Neuerung ist die höhere thermische Stabilität von Negativlacken. Das Negativ-Zweilagen-System SX AR-P5460/1 + SX AR-N4340/6 ergibt einen ausgeprägten Unterschnitt und erzeugt gerade Kanten in der Unterschicht, was bei dem isotropen Ätzverhalten nicht selbstverständlich ist (s. Abb. )
Abb. 1: Mit dem Negativ-Zweilagen-System SX AR-P5460/1 + SX AR-N4340/6 erzeugter Unterschnitt
Für noch höhere Temperaturbelastungen wurde ein thermostabiler Negativlack entwickelt (→ Temperaturstabiler Negativresist). Dieser Lack zeigt als Oberlack verheißungsvolle Ergebnisse. Relativ schnell gelang es, diese Zweilagen Entwicklung zu optimieren und den Unterschnitt herzustellen. Dazu wurden Resists der Serie AR-N 4300 modifiziert (Copolymer aus PMMA und Polyhydroxystyren anstatt Novolak) und der Unterlackes AR-BR 5400 wurde zusätzlich variiert. Der SX AR-N 4340/10-Resist ist deutlich thermoresistenter als die Positivresists. In der Abbildung ist das Zweilagensystem nach der Entwicklung und nach einer thermischen Behandlung von 200 °C zu sehen. Der Negativlack zeigt keinerlei Beeinflussung durch den Temperschritt.
Abb. 2: Unterschnitt nach thermischer Behandlung
Photoresist Negativ