Positiv-Zweilagen-lift-off System

Zurzeit befinden sich zwei Positiv-Zweilagen-lift-off Systeme seit einigen Jahren erfolgreich im Einsatz; die AR-BR 5400AR-P 3510-Serie (Allresist) und PGMI-Positivresist-Variante. Durch die Dauer der Entwicklung kann sich jeder Anwender den Unterschnitt bei der AR-BR 5400AR-P 3510-Serie wie gewünscht einstellen.

Negativ_Zweilagen_Liftoff_1

Bild: 0,8 µm Unterschnitt

Negativ_Zweilagen_Liftoff_2

Bild: 4,6 µm Unterschnitt

Positiv-Zweilagen System

Da solche Unterschnitt-Strukturen fast ausschließlich für Lift-off-Prozesse genutzt werden und dabei beim Aufdampfen und besonders beim Aufsputtern hohe Temperaturen (bis 200 °C) auftreten können, ist eine thermische Stabilität der Oberschicht dringend erwünscht. Bei einem so großen Unterschnitt wie im rechten Bild schmilzt der Oberlack und fließt herunter. Damit kann dann der Lift-off-Prozess nicht mehr durchgeführt werden. Versuche, einen thermisch stabileren Positiv-Lack für das Zweilagen-System zu entwickeln, führten bisher zu keiner erheblichen Verbesserung.