Neues Verfahren zur Sprühbeschichtung tiefer Topologien mit SX AR-P 1250/20

Im CiS Institut für Mikrosensorik werden für die Fertigung kundenspezifischer Bauelemente tiefe Siliziumätzgruben strukturiert. Dazu wurde eine Beschichtung mittels Sprühbeschichtung entwickelt. Mit einem EVG-Spraycoater wurden umfangreiche Versuche durchgeführt. Die Allresist optimierte den Resist für diese Untersuchungen. Letztendlich befriedigten jedoch die Ergebnisse nicht vollständig, da sich die Kanten der Ätzgruben nicht ausreichend bedecken ließen.

Erst durch die Entwicklung eines neuen Sprühsystems gelang den Mitarbeitern des CiS die Erreichung einer guten Kantenbedeckung. Eine Voraussetzung war ein nochmals optimierter Sprühresist, der SX AR-P 1250/20. In den Abbildungen 1 und 2 sind die geätzten Strukturen der Siliziumgruben zu sehen. Die sehr gute Kantenbedeckung der Ätzgruben lässt sich in der Abbildung 2 gut erkennen, an den gewünschten Stellen ist die Schicht vollständig geschlossen.

Abb. 1 Lackstrukturen des SX AR-P 1250 zur Bedeckung von Ätzgruben

Abb. 2 Fertig geätzte Teststrukturen nach der Lackentfernung