Die bisher verfügbaren Sprayresists (AZ 4999) sind für extreme Topologien ausgelegt, d.h., es können auch senkrechte Siliziumgräben mit Resist bedeckt werden. Diese ausgezeichnete Eigenschaft hat jedoch ihren Preis: Die Oberfläche des Lackes ist sehr rau, so dass reflektorische Schichtdickenmessungen ohne Nachbehandlung nicht durchgeführt werden können. Ebenso tritt eine starke „Kügelchen-Bildung“ auf, der Lack trocknet so schnell, dass ein großer Anteil von Tropfen beim Auftreffen auf das Substrat schon trocken ist. Dadurch bilden sich kleine Kugeln auf der Oberfläche, die viele nachfolgende Prozesse stören. Durch die Verwendung hochflüchtigen Acetons kann es zusätzlich zur Gasbildung in der Lackleitung des Spraycoaters kommen, die eine gleichmäßige Beschichtung erschwert.
Deshalb wurden die Allresist-Sprühlacke weiter optimiert. Es wurden mit modifizierten Mustern weitere Versuche am Süss-Spraycoater „Gamma Altaspray“ gemacht. Die Versuche wurden an geätzten Siliziumwafern mit 54 ° Böschungswinkel (Tiefe 300 – 400 µm) durchgeführt. Die Lösemittelzusammensetzung wurde sukzessive weniger flüchtig gestaltet, auf Aceton wurde ganz verzichtet. Dadurch ergaben sich deutlich verbesserte Oberflächen, die eine reflektorische Schichtdickenmessung zuließen. Die Neigung zur „Kügelchenbildung“ war sehr viel geringer ausgeprägt. Trotzdem gelang eine vollständige und ausreichende Bedeckung der Wafertopologien. Bei Schichtdicken von 3 – 5 µm wurde eine Auflösung von 1 – 2 µm erreicht.
Gute Lackoberfläche bei völliger Bedeckung aller Topologien – Positivresist SX AR-P 1250/25.2
Auflösungstest des Negativresists SX AR-N 2250/1.1 Schichtdicke 5 µm, hohe Empfindlichkeit
Allresist bietet nun mehr eine Serie für Positiv- und Negativlacke für unterschiedliche Topologien und ebene Substrate an.
senkrechte Gräben: AR-P 1210 (positiv) ; AR-N 2210
(negativ) geätzte 54 °
Böschungen: AR-P 1220 (pos.); AR-N 2220 (neg.)
ebene Wafer: AR-P 1230 (pos.); AR-N 2230 (neg.)
Diese können aufgrund ihrer unterschiedlich eingestellten Trocknung auch schneller auf differenzierte Anforderungen von Spraycoatern anderer Hersteller eingestellt werden.
Photoresist Positiv