PMMA-Schichten zeichnen sich durch eine extrem glatte Oberfläche aus. An darauf hin optimierten Resists wurde eine Oberflächenrauigkeit von < 2 nm gemessen. Diese Eigenschaft kann zur Glättung von z.B. Glasoberflächen genutzt werden. Mittels Sprühbeschichtung wird der SX AR-PC 5000/22 dünn auf das Glassubstrat aufgetragen (Schichtdicke < 100 nm). Durch die Wahl des Lösemittelgemisches und den Zusatz von Tensiden erhält man die beschriebene, extrem glatte Oberfläche. Dann wird mittels Plasmaätzen das PMMA vorsichtig heruntergeätzt. Wird die „raue“ Glasoberfläche (Rauigkeit von z.B. 10 nm) erreicht, werden die zuerst herausragenden „Glasberge“ weggeätzt, die „Täler“ bleiben noch unberührt. Dabei ist wichtig, dass die Ätzraten von Glas und PMMA gleich sind. Ist das PMMA vollständig abgetragen, hat sich die glatte Oberfläche auf das Substrat übertragen.
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Photoresist Schutzlack
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