Es ist möglich, PMMA-Resists auch mittels der UV-Lithographie zu strukturieren, allerdings nur mit einer Belichtungswellenlänge von 200 – 270 nm (Tief-UV). Die typische Wellenlänge ist die niedrigste Linie der Quecksilberhochdruck-Lampen bei 254 nm. In der Abbildung wird das UV-Absorptionsspektrum eines PMMA´s gezeigt. Oberhalb von 280 nm weist das Polymer keine Absorption mehr aus, deshalb kann es auch nicht belichtet werden.
Abbildung: Absorptionsspektrum eines PMMAs.
Die Empfindlichkeit des PMMA ist bei dieser Wellenlänge jedoch gering. Das ist besonders bei der Quecksilberhochdruck-Lampe ausgeprägt, da nur wenige Prozent der abgegebenen Strahlung bei 254 nm emittiert werden. Zusätzlich ist zu beachten, dass sich kein Glas (Linsen, Filter) im Strahlengang befindet, Glas lässt kein Licht < 300 nm durch. Allein Quarzglas ist für die 254-nm-Lithographie geeignet. Werden Laser als Lichtquelle für die Tief-UV-Lithographie verwendet, steht auch mehr Energie zur Belichtung bereit. Damit sind dann die PMMA´s mit akzeptablen Belichtungszeiten zu bestrahlen. Nach der Belichtung werden die PMMA-Schichten wie bei der E-Beam-Lithographie entwickelt (siehe Entwicklung PMMA-Schichten). [/av_textblock] [/av_two_third][av_one_third min_height='' vertical_alignment='' space='' custom_margin='' margin='0px' padding='0px' border='' border_color='' radius='0px' background_color='' src='' background_position='top left' background_repeat='no-repeat' animation='' mobile_display='' av_uid='av-ri6t4'] [av_textblock size='' av-medium-font-size='' av-small-font-size='' av-mini-font-size='' font_color='' color='' id='' custom_class='' template_class='' av_uid='av-29pk8' sc_version='1.0' admin_preview_bg=''] Photoresist Andere Resists [/av_textblock] [av_hr class='invisible' height='25' shadow='no-shadow' position='center' custom_border='av-border-thin' custom_width='50px' custom_border_color='' custom_margin_top='30px' custom_margin_bottom='30px' icon_select='yes' custom_icon_color='' icon='ue808' font='entypo-fontello' admin_preview_bg='' av_uid='av-feaog'] [av_magazine link='category,35' items='-1' offset='0' heading='' heading_link='manually,http://' heading_color='theme-color' heading_custom_color='#ffffff' first_big_pos='top' admin_preview_bg='' av_uid='av-bdcbc'] [/av_one_third][/av_section]