Da beim Beschichten der PMMA-Schutzlacke Probleme entstehen können, entstanden Ideen für die Optimierung ihres Beschichtungsverhaltens. Die Schutzlacke neigen bisher unter bestimmten Bedingungen zum „Verspinnen“ beim Schleuderbeschichten, das PMMA zieht dabei feine Fäden.
Jetzt wurde ein Muster gefertigt, das ein PMMA beinhaltet, das eine geringere Molmasse im Vergleich zu den bisherigen Polymeren aufweist. Damit lässt sich der Zuckerwatte-Effekt deutlich reduzieren. Erste Proben der Schutzlacke auf Safer solvent-Basis und mit optimiertem Beschichtungsverhalten werden ab Jahresbeginn 2015 zur Verfügung stehen.
Abb. 10 Wafer mit SX AR-PC 5040/1 nach 6h Ätzdauer in 30% KOH bei 85°C
Photoresist Schutzlack