E-Beam Resist AR-N 7720-Serie
(AR-N 7720.13, AR-N 7720.30)
Hochauflösender, chemisch verstärkter Resist für mix- & match, mit flacher Gradation
(AR-N 7720.13, AR-N 7720.30)
Hochauflösender, chemisch verstärkter Resist für mix- & match, mit flacher Gradation
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AR-N 7720.13. Sinusförmige Strukturen
85 °C, 90 s, hot plate
Vistec Lion, 12,5 kV
AR 300-47, 4 : 1, 60 s, 22 °C
Text
Diffraktive Optik mit dem AR-N 7720.30 in Silizium übertragen