E-Beam Resist SX AR-N 8250 Serie (Medusa 82)
(SX AR-N 8250.03, SX AR-N 8250.06, SX AR-N 8250.18)
Experimentalmuster/Sonderanfertigung
(SX AR-N 8250.03, SX AR-N 8250.06, SX AR-N 8250.18)
Experimentalmuster/Sonderanfertigung
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Lagerung garantiert haltbar und darüber hinaus ohne Gewähr bis Etikettendatum verwendbar.
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Abbildung 1: Dosis Staffel (400 – 5.000 μC/cm²) Medusa 82. Resist: SX AR-N 8200.06/1 – 100 nm, Coating: 60 s 4000 rpm, Soft-bake: 15 min @ 120°C, Exposure: Raith Pioneer, 30 kV, Developing: 90 s AR 300-44; 23°C, Stopping: 30 s DI-Water