X AR-N 7700/30
(Experimentalmuster / Sonderanfertigung)
Hochempfindlicher, höchstausflösender und chemisch verstärkter Resist
(Experimentalmuster / Sonderanfertigung)
Hochempfindlicher, höchstausflösender und chemisch verstärkter Resist
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Dosisfächer des X AR-N 7700/30, niedrigste Dosis 10,14 µC/cm²