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AR-N 2200 Serie

Produkte auf Anfrage

(AR-N 2210,  AR-N 2220)

Einsatzfertige negative Sprühlacke für verschiedene Anwendungen

Charakterisierung

  • Breitbandband-UV, i-line, g-line
  • AR-N 2210 zur gleichmäßigen Bedeckung senkrechter Gräben
  • AR-N 2220 für geätzte 54° Böschungen
  • gute Haftung, glatte Oberfläche
  • Novolak-Naphthochinondiazid-Kombination
  • Safer Solvent PGMEA sowie Methylethylketon

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Eigenschaften

  • Schichtdicke:                       4-10 µm
  • Auflösung:                           1,0 µm
  • Kontrast:                               3
  • Flammpunkt:                       12 °C
  • Lagerung:                             10-18 °C

* Die Produkte sind 6 Monate ab Verkaufsdatum bei vorschriftsmäßiger Lagerung garantiert haltbar und darüber hinaus ohne Gewähr bis Etikettendatum verwendbar.

Verfügbare Bestellgrößen

  • Produkt auf Anfrage

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Strukturauflösung

AR-N 2210: Schichtdicke 5 µm, Auflösung bis 1,4 µm

Prozessparameter

  • Substrat
    Si 6“ Wafer
  • Temperung
    82 °C, Chuck
  • Belichtung
    Breitband (h-, g-, i-line)
  • Entwicklung
    AR 300-44, 4 min Puddle

Resiststrukturen

AR-N 2220: 5 µm-Lackstrukturen in 150 µm tiefen Ätzgruben

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