AR-N 2200 Serie
Produkte auf Anfrage
(AR-N 2210, AR-N 2220)
Einsatzfertige negative Sprühlacke für verschiedene Anwendungen
Charakterisierung
- Breitbandband-UV, i-line, g-line
- AR-N 2210 zur gleichmäßigen Bedeckung senkrechter Gräben
- AR-N 2220 für geätzte 54° Böschungen
- gute Haftung, glatte Oberfläche
- Novolak-Naphthochinondiazid-Kombination
- Safer Solvent PGMEA sowie Methylethylketon
Interessante Beiträge im Resist-Wiki
Eigenschaften
AR-N 2210
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Schichtdicke: 4-10 µm
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Auflösung: 1,0 µm
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Kontrast: 3
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Flammpunkt: 12 °C
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Lagerung: 10-18 °C
AR-N 2220
* Die Produkte sind 6 Monate ab Verkaufsdatum bei vorschriftsmäßiger Lagerung garantiert haltbar und darüber hinaus ohne Gewähr bis Etikettendatum verwendbar.
Verfügbare Bestellgrößen
- Produkt auf Anfrage
Passende Prozesschemikalien
Strukturauflösung
AR-N 2210: Schichtdicke 5 µm, Auflösung bis 1,4 µm
Prozessparameter
- SubstratSi 6“ Wafer
- Temperung82 °C, Chuck
- BelichtungBreitband (h-, g-, i-line)
- EntwicklungAR 300-44, 4 min Puddle
Resiststrukturen
AR-N 2220: 5 µm-Lackstrukturen in 150 µm tiefen Ätzgruben
Wissenschaftsposter
