Schutzlack AR-PC 5094.02 (Electra 94)
Leitfähiger Schutzlack für E-Beam Resists
Top-Layer zur Ableitung von Aufladungen auf isolierenden Substraten
Charakterisierung
- ist als Schutzlack nicht licht-/strahlungsempfindlich
- dünne, leitfähige Schichten zur Ableitung von Aufladungen bei der Elektronenbestrahlung
- zur Beschichtung auf allen AR E-Beam Resists, z.B. CSAR 62, Medusa 84 SiH, außer CAR-Lacke
- verbesserte Eigenschaften gegenüber AR-PC 5092.02
- leichtes Removing mit Wasser nach Bestrahlung
- Polyanilin-Derivat gelöst in Wasser
Eigenschaften
- Schichtdicke/4.000 rpm42 nm
- Schichtdicke/1.000 rpm100 nm
- Leitfähigkeit (60nm)1,2 S/m
- Lagerung bis 6 Monate8-12 °C
* Die Produkte sind 6 Monate ab Verkaufsdatum bei vorschriftsmäßiger Lagerung garantiert haltbar und darüber hinaus ohne Gewähr bis Etikettendatum verwendbar.
Passende Prozesschemikalien
- RemoverDI-Wasser
Eigenschaften
Siemensstern auf Quarz geschrieben mit der neuen leitfähigen Schicht Electra 94 (AR-PC 5094.02) aufgesponnen um Ladungsaufbau zu verhindern. Diese Variante von Electra 94, speziell für Medusa 84 SiH entwickelt, weist hervorragende Beschichtungs- und Haftungseigenschaften.
© B. Drent, AMOLF NanoLab Amsterdam
Prozessparameter
- Substrat4“ Quarz-Wafer mit AR-P 662.04
- Beschichtung2000 rpm, 60 nm auf E-Beamresist
- Temperung85 °C
Leitfähigkeit
Leitfähigkeitsmessungen der durch Schleuderbeschichtung erzeugten Schichten des AR-PC 5094.02. Mit dünneren Schichten nehmen der Widerstand zu und die Leitfähigkeit ab.
Verfügbare Bestellgrößen
- 1 x 30 ml (Testmuster)
- 1 x 100 ml (Testmuster)
- 1 x 250 ml
- 1 x 1.000 ml