AR-PC 503
Lichtunempfindlicher Schutzresist, 40 % KOH-ätzstabil, eingefärbt
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Charakterisierung
- nicht lichtempfindlich > 300 nm, Gelblicht unnötig
- schützt Waferrückseite bei Ätzung der Vorderseite
- bietet zuverlässigen Schutz vor mechanischen Beschädigungen bei Handling und Transport
- thermisch stabil bis 250 °C
- PMMA mit unterschiedlichen Molekulargewichten
- zusätzlich mit Farbstoff dunkel eingefärbt
- Lösemittel Chlorbenzen
Interessante Beiträge im Resist-Wiki
Eigenschaften
- Schichtdicke/4.000 rpm1,0 µm
- Flammpunkt28 °C
- Lagerung 6 Monate18 - 25 °C
Verfügbare Bestellgrößen
- 1 x 100 ml (Testmuster)
- 1 x 250 ml
- 2 x 250 ml
- 1 x 1.000 ml
- 6 x 1.000 ml
- 1 x 2.500 ml
- 4 x 2.500 ml
Passende Prozesschemikalien
Foto vom belackten Wafer
Schutzresist AR-PC 503 über empfindlichen Strukturen
Spinkurve
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